Equipamento principal da linha de produção automatizada de limpeza PR para fabricantes de monitores LCD
A linha de produção automatizada de limpeza PR (fotorresistente) é um equipamento central de processo úmido na fabricação de telas LCD. Ele é usado principalmente após o processo de fotolitografia no substrato da matriz para remover completamente fotorresistente residual, resíduo de gravação e micro{1}}contaminantes de superfície. É um equipamento crucial para garantir a precisão do circuito do painel e melhorar o rendimento do produto. Perfeitamente adequado ao ambiente de produção rigoroso de uma sala limpa Classe 100, ele alcança operações de limpeza em circuito fechado-de alta precisão, automatizadas e livres de poluição-.
Visando o resíduo fotorresistente positivo e negativo após o processo de fotolitografia, ele utiliza um processo de limpeza ultrassônica de vários-estágios + processo de enxágue por transbordamento de água pura para remover profundamente detritos, contaminantes orgânicos, partículas de poeira e outras impurezas remanescentes após a gravação por fotolitografia. Ele pode remover completamente resíduos microscópicos abaixo de 0,5 μm, evitando defeitos como circuitos abertos no painel, pontos brilhantes e manchas Mura causadas por impurezas. Combinado com um sistema de filtragem de alta-precisão de 0,1μm, evita contaminação secundária. Ele consegue uma remoção completa e-livre de danos, evitando o impacto de camadas adesivas residuais em processos subsequentes de ataque e revestimento, com uma taxa de cobertura de remoção de 100%.
O módulo de controle eletrostático-ESD integrado controla estritamente o valor eletrostático dentro da faixa menor ou igual a ±100V. Combinado com o material anti{3}estático da cavidade e a tecnologia de fornecimento de roda magnética sem{4}}contato, evita que descargas eletrostáticas danifiquem os circuitos de precisão do painel, ao mesmo tempo que evita arranhões, lascas e geração de poeira devido ao atrito no substrato de vidro, maximizando assim a proteção da integridade do substrato.
Câmara de teste de temperatura constante de alta e baixa temperatura
O núcleo do equipamento automatizado da linha de produção de limpeza e secagem para fabricantes de telas LCD integra um modo de secagem duplo: corte com faca de ar e secagem com ar quente-a temperatura constante. Isso remove rapidamente manchas de água da superfície do substrato, conseguindo uma secagem-livre de marcas d'água e{3}}sem vestígios. Após a secagem, o teor de umidade superficial do substrato se aproxima de zero, permitindo a transferência direta para o próximo processo sem processamento secundário, garantindo a continuidade do processo. Um sistema de controle PLC permite operação em circuito fechado-totalmente automatizada de carga, posicionamento, limpeza e descarga. Ele suporta monitoramento-em tempo real e funções de alarme para ajuste de concentração de solução de limpeza, temperatura, umidade e limpeza. A câmara selada e o design de pressão negativa gradiente evitam vazamento de gases químicos. Combinado com o ambiente de pressão positiva de uma sala limpa Classe 100, ele também permite a reciclagem de água ultrapura e a classificação e recuperação de resíduos líquidos, atendendo aos requisitos-de economia de energia e de proteção ambiental.
Em comparação com a limpeza manual tradicional, as linhas de produção de limpeza PR totalmente automatizadas têm vantagens insubstituíveis: a eficiência da limpeza é aumentada em mais de 3 vezes e quase 10.000 substratos de vidro podem ser processados por turno, encurtando significativamente o ciclo do processo; a consistência da limpeza é excelente, removendo completamente micro{3}}resíduos menores que 0,5μm, controlando a taxa de defeitos do painel em 0,5PPM, evitando efetivamente defeitos como pontos brilhantes, pontos escuros e quebras de circuito na tela; o equipamento adota um design de-economia de água e energia-, com alta taxa de recuperação de água pura e coleta e tratamento de águas residuais classificadas, atendendo aos requisitos de produção de proteção ambiental; toda a máquina é feita de PVC-resistente à corrosão e aço inoxidável SUS304, com vedação forte, fácil limpeza e manutenção, e é adequada para operação contínua 24-horas em salas limpas, tornando-se equipamento padrão para fabricantes de telas LCD para construir linhas de produtos de alta qualidade e aumentar a competitividade principal.
Equipamento principal na oficina de fotolitografia de fabricantes de telas LCD
O equipamento de exposição é o equipamento principal na oficina de fotolitografia e uma área de processo chave no processo de fabricação de matrizes de LCD. Também conhecida como máquina de litografia de painel, é um dispositivo óptico de processo úmido de alta-precisão. Sua principal função é transferir o padrão de projeto do circuito do substrato para um substrato de vidro revestido com fotorresistente por meio de exposição óptica, o que é crucial para a formação de micro-circuitos no painel. A transferência precisa do padrão do circuito da máscara fotográfica para o substrato de vidro é o pré-requisito para os processos subsequentes de gravação, revestimento e limpeza PR, determinando diretamente a qualidade da tela do display. O equipamento usa um processo de exposição sem{6}}contato, adequado para substratos de vidro LCD finos e de grande-tamanho, evitando arranhões, danos e contaminação no substrato.
Os principais destaques tecnológicos incluem um sistema de alinhamento de alta-precisão com precisão de sobreposição de nível-mícron ou mesmo sub{2}}mícron-, garantindo desalinhamento zero no empilhamento de circuitos multi-camadas com erros controlados até alguns milésimos do diâmetro de um fio de cabelo; o uso de uma fonte de luz de exposição uniforme e tecnologia de foco dinâmico para obter flutuações de energia de exposição de<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Toda a oficina usa uma fonte de luz amarela monocromática de 589 nm, filtrando completamente a luz de comprimento de onda curto, como luz ultravioleta, azul e branca, evitando que esses raios desencadeiem reações fotoquímicas prematuramente no fotorresistente, causando defeitos fatais, como desalinhamento de padrão, linhas incompletas, curtos-circuitos e circuitos abertos. O sistema de iluminação usa uma combinação de LEDs amarelos dedicados e filtros de{3}camada dupla para evitar vazamento de luz difusa; portas, janelas e janelas de observação são equipadas com materiais filtrantes anti-ultravioleta; telefones celulares, câmeras, lanternas-de alta potência e outras fontes externas de luz são estritamente proibidos dentro da oficina, e o controle-total da disciplina de luz da área é implementado para eliminar o risco de exposição prematura do fotorresiste da fonte.
Introdução às salas limpas classe 100 para fabricantes de telas LCD
No campo da fabricação de LCD de alta{0}}precisão, as salas limpas Classe 100 (salas limpas ISO Classe 5) são a principal instalação de produção e um indicador-chave da força técnica e do rendimento do produto de um fabricante. Eles são amplamente utilizados nas principais etapas do processo, como matriz, montagem de células e embalagem de módulos, por empresas líderes de exibição como BOE, TCL CSOT, HKC e Tianma. Essas salas limpas têm padrões de limpeza rigorosos, com no máximo 100 partículas de poeira em suspensão Maior ou igual a 0,5 μm de diâmetro por pé cúbico de ar (menor ou igual a 3.520 por metro cúbico). Esse nível de limpeza excede em muito o das salas de cirurgia médica, servindo como uma “barreira rígida” para evitar que poeira, eletricidade estática e contaminantes químicos interfiram nos processos de precisão. É um componente central de hardware que determina diretamente a qualidade da imagem, a vida útil e a taxa de rendimento da tela.
A oficina foi projetada e construída estritamente de acordo com os padrões internacionais e nacionais ISO. Ele adota um modo de fluxo de ar unidirecional vertical, juntamente com um sistema de filtragem ULPA de quatro-estágios (pré-filtro, filtro de eficiência-média, filtro de alta-eficiência e filtro de eficiência ultra-alta-), alcançando uma eficiência de filtragem de até 99,999%, garantindo a remoção instantânea de poeira e eliminando zonas mortas de fluxo de ar. Simultaneamente, o controle ambiental preciso é alcançado em todas as dimensões: temperatura constante de 23±1 grau, umidade relativa controlada em 45%-55%, estado de pressão positiva mantido na área limpa e diferença de pressão maior ou igual a 10Pa entre áreas adjacentes, evitando completamente a infiltração de poeira externa; considerando a suscetibilidade dos painéis de exibição a danos eletrostáticos, é usado piso autonivelante anti-epóxi estático-e placas de aço inoxidável 304 e aço colorido para salas limpas são usadas nas paredes e tetos, com controle rigoroso dos valores de eletricidade estática durante todo o processo; controle adicional é fornecido para poluentes químicos de COV em nível molecular e interferências latentes, como microvibrações, atendendo aos requisitos de processos em nanoescala, como fotolitografia, deposição de filmes finos e injeção de cristal líquido.
A oficina adota um projeto de zoneamento de sala limpa em camadas, dividido em uma área central Classe 100, uma área tampão Classe 1000 e uma área auxiliar Classe 10.000, com camadas que evitam contaminação-cruzada, e linhas de transporte de pessoal e material automatizado são completamente separadas. O pessoal deve passar por um processo triplo de troca de roupa, chuveiro de ar e detecção eletrostática, e só pode entrar depois de usar um-traje de sala limpa para todo o corpo, luvas-livres de poeira e óculos de proteção; os materiais são transferidos através de janelas de transferência interligadas e passam por tratamento de remoção de poeira e eletricidade estática; o interior é equipado com capelas de fluxo laminar FFU, contadores de partículas on-line, sensores de temperatura e umidade, monitores de pressão diferencial e outros equipamentos para obter monitoramento em tempo real 24-horas e rastreabilidade de dados, e emitirá avisos imediatos e fará ajustes em caso de indicadores anormais para garantir a estabilidade ambiental contínua.
